多晶硅生產(chǎn)過(guò)程煙氣量大,成分復(fù)雜,粉塵顆粒小(0.1~10μm),傳統(tǒng)過(guò)濾方式采用金屬粉末燒結(jié)材料、多層燒結(jié)金屬絲網(wǎng)過(guò)濾材料,其普遍存在過(guò)濾效率低,攔截效率低等問(wèn)題。ZSWF-粉氈金屬膜,采用50μm精密過(guò)濾層復(fù)合400μm支撐層,過(guò)濾精度可達(dá)0.1μm,滲透效率高于傳統(tǒng)材料5倍以上,可有效代替?zhèn)鹘y(tǒng)粉末燒結(jié)多孔材料及燒結(jié)金屬絲網(wǎng)多孔過(guò)濾材料。